Die dritte Variante sind die Kammeröfen mit keramischer Faserauskleidung. Diese Öfen werden für Prozesse mit definiertem Sauerstoffanteil oder 100% Sauerstoffatmosphäre eingesetzt. Auch Prozesse unter Stickstoff und Argon gelingen in diesen Öfen, allerdings müssen Abstriche an der Gasatmosphärenqualität in Kauf genommen werden.
Es können Prozesse für piezokeramische Werkstoffe gefahren und alle oxidischen Materialien gesintert werden. Es gibt Wärmebehandlung für Metalle, Kristallzüchtung und Fertigung von keramischen Pulvern.
Wasserstoffprozesse sind limitiert auf 1000°C. Vakuumbetrieb ist nur im Grobvakuumbereich empfehlenswert.
